반도체디스플레이학과

Department of Semiconductor and Display Technology

학위과정 : 석사과정 박사과정 석박사통합과정

전 공 명 : 반도체디스플레이학 (Semiconductor and Display Technology) 학 위 명 : 이학석사 (Master of Science)

이학박사 (Doctor of Science) 후드색상 : 석사과정 : 황금색 (Golden Yellow)

박사과정 : 황금색 (Golden Yellow)

학과 교육목표

1. 반도체 및 디스플레이 산업에 필요한 우수인재를 양성한다
2. 반도체 및 디스플레이 분야의 첨단 기술을 개발하고 창의적 활동을 할 수 있는 능력을 배양한다
3. 반도체 및 디스플레이와 관련된 장비나 응용기기들을 개발할 수 있는전문인을 양성 한다

학과대학원 위원회

성명 직위

고춘수 교수

서정철 교수

오용호 교수

이충훈 교수

황근창 교수

편성교과목

교과목 해설

전자기학 Electromagnetism 1

전기적인 현상과 자기적인 현상 그리고 역학적 현상들 사이의 관계를 연구하는 학문이다고전전기역학은 전자기장과 하전입자들 에 대한 Maxwell의 계통적인 기술을 취급하며 이 과정에서는 Electrostatics, Magnetostatics, 전자기파 Maxwell 방정식 등을 연구 내용으로 한다

In this subject, the relationships between electric, magnetic and mechanical phenomena are studied. Maxwell’s approaches for the electromagnetic fields and charged particles are treated in classical electromagnetism. It contains the topics on electrostatics, mag- netostatics, electromagnetic waves and Maxwell equations.

전자기학

전자기학의 계속과정으로서 전자기장과 상대론적 입자의 역학 하전입자들의 충돌 운동하는 전하의 복사 브렘스트랄룽 방법, multipole 방법 등을 연구한다

Relativistic electromagnetic theory, collisions between charged particles, radiation from moving charge, Bremsstrahlung method of virtual quanta and multipole fields are studied.

고체물리학

고체에 관한 역학적 성질 전기적 성질 및 광학적 성질 등의 물리적 특성을 연구하고 그 것들을 물리학의 기초적 법칙으로써 이해 한다 원자들로 구성된 큰 집단의 공통성을 강조하며 그 특성들과 원자구조 사이의 정량적인 관계에 두고 고체의 전자구조 결정구 조 격자진동 초전도반도체표면특성등을 포함한다 이 과정에서고체의에너지밴드반도체전기적특성광학적특성 등이 연 구된다

the physical properties of solid material such as mechanical, electrical and optical property are studied. This subject contains the topics in crystal structure, lattice vibration, energy band, semiconductor, electrical and optical properties of solid material.

고체물리학

초전도 고체의 결함 Measuring phonon, Dispersion relation, Phonon in metal 등의 내용을 연구한다

It contains the topics in super-conductivity, defect of solid, measuring of phonon, dispersion relation, phonon in metal.

반도체물리학 Semiconductor Physics 1

반도체의 기본적 특성으로 물성 운송자의 거동 잉여 운송자의 비평형상태의운동 band gap의 이해 PN 접합 등 반도체의 기초이론과 BJT, MOSFET 등 기본 소자의 동작 원리를 다룬다 특히 MOSFET는 subthreshold 전류 Short channel 효과 Hot electron 효 과 LDD 구조 등 DSM MOS 소자의 동작과 전기적 특성에 대하여 배운다

Basic characteristics of semiconductor are treated such as material properties of semiconductor, operation principles of basic devices of PN-diode, bipolar junction transistor and MOSFET.

반도체물리학

반도체의 기본 동작원리를 바탕으로 최첨단 반도체 소자의 동작 원리에 대해 공부한다 HEMT, HBT 와 같은 고속 동작 소자와 광 센서 LED, Laser Diode등 광소자의 동작 원리를 다룬다

we study characteristics of recent semiconductor devices such as HEMT, HBT, optical sensors, LED and laser diode.

플라스마물리학

핵융합플라즈마 환경 처리용플라즈마 반도체공정용플라즈마의 기본적인특성 및 차이점을간단하게소개하고주 내용은반도 체 공정용 플라즈마에 초점을 둔다 교과내용으로는 단일 입자의 운동 방전원리 및 조건 가스 입자로 본 플라즈마 특성 유체로서 의 플라즈마 플라즈마의 파동 확산과 저항 등을 다룬다 반도체공정 특히 식각 공정에서 플라즈마의 분석 및 응용에 대한 개괄적 인 내용을 다룬다

The application plasma for semiconductor process is the main topic of this subject. It includes principles of discharge, ignition conditions, kinetic approaches of plasma, fluid approaches of plasma and plasma waves.

플라스마물리학 Plasma Physics 2

플라즈마의 응용에 초점을 두고 배운다 최근에 반도체공정용 플라즈마에서 사용되는 자기장 속에서의 플라즈마 특성 플라즈마를 생성하기 위한 전자기파와 플라즈마의 상호작용 등의 이론적인 내용이 추가되며 플라즈마의 진단 및 플라즈마 장치의 개념설계 등도 다룬다

Topics focused on the applications of low temperature plasma. Interactions between plasma and wave, plasma characteristics in static magnetic field, plasma diagnosis and conceptual design of discharge chamber are studied.

전공기술 Vacuum Technology 1

반도체 공정에 필수적인 요소인 진공 챔버를 구성하는데 필요한 제반 지식과 진공 챔버 내의 가스 상태에 대한 운동 역학을 배운다 진공 장치 내의 가스 운동역학 펌프의 종류 및 구조 압력의 측정 진공 챔버를 구성하기 위한 재료 및 부품 leak 검출 등을 다룬다 General basics and gas kinetics in vacuum chamber are studied. It is consists of several topics in gas kinetics, structures of some vacuum pumps, basic materials and parts and detection of vacuum leakage.

전공기술Vacuum Technology 2

반도체공정에사용되는각 진공장치별로 개략적인시스템의이해를목표로둔다내용으로는 스퍼터링등의 중진공챔버 Evapo- rator 등의 고진공 챔버 전자현미경이나 리소그래피용 전자빔 장치 등의 고진공 장치 등을 다루고 X-ray 방사광 생성에 필요한 전자 저장 링 등의 초고진공 장치에 대해서도 배운다

The topics on sputtering chamber of medium vacuum, evaporator of high vacuum, SEM or E-beam lithography machine of high vacuum and ultra high vacuum of storage ring in X-ray radiation accelerator are studied.

디스플레이공학세미나 Display Technology Seminar

디스플레이의 신기술을 습득하기 위하여 최근에 발표되는 최신논문 및 발표자료 등을 찾아 교수 및 대학원생의 세미나를 통하여 신 기술의 내용을 이해하고 연구 테마를 도출한다

Emerging technologies in display industry are discussed and research items may be extracted.

반도체공학세미나 Semiconductor Technology Seminar

반도체분야에서 최근 연구되고 있는 주제에 대해 발표하고 심도 있는 토론을 한다 Deep sub-micron 소자 고속소자 양자효과 소자 탄소나노튜브 등 새로운 성과가 발표되고 있는 분야를 중심으로 다룬다

Current technical issues in semiconductor industry are discussed. We focused on the deep sub-micron device, quantum dots, carbon nano-tube.

나노공학 Nano-Engineering

나노급 반도체소자의 동작과 제조 방법에 대한 최신 이론을 다룬다 탄소나노튜브 등 나노공학 기법을 사용한 소자의 동작원리와 응 용의 기본 이론을 배운다 또한 나노 소재 및 재료의 최근 개발 동향을 공부하고 내용을 이해함으로써 나노 소자의 응용을 배운다 Recent topics on nano-scale devices are studied. Technical trends of CNT, materials for nano-engineering and application of na- no-devices are discussed.

비정질반도체

비정질 반도체는 최근의 TFT/LCD, 박막 태양전지 등에서 응용되고 있어 차세대 응용물질로써 각광을 받고 있는 물질이므로 비정 질반도체의 물성에 관한 기초적 사항을 익히고 관련된 연구를 할 수 있는 기초 지식을 습득한다

Amorphous semiconducting materials may be used in TFT-LCD and thin film solar cell. In this subject, the material characteristics of amorphous semiconductor and basics for amorphous semiconductor device are studied.

유기재료특론Advanced Organic Materials

특수한고분자유기물은전기전도성과 발광 특성을갖고 있다이러한유기물은유기물반도체로사용되어유기 다이오드 유기 트 랜지스터 등에 사용되며 액정을 대신할 수 있는 중요한 물질로 여겨진다 이런 재료들은 저분자계와 고분자계로 나눌 수 있다 저분 자계에는금속착제가 많이 있고 고분자계는 파이공역분자와 비공역분자로 나눌 수 있다이런 유기물들의 재료적인특성을이해하 기 위하여 유기화학적인 지식이 필요하며 전기적 특성을 위해서는 양자물리적인 접근이 필요하다

Organic chemistry and quantum physics to understand the principle of organic semiconductor devices are studied.

화합물반도체 Compound Semiconductor

GaAs 등 ⅢⅤ ⅡⅥ 반도체 소자의 동작원리와 모델 시뮬레이션 기법 및 이들을 사용한 디지털 논리회로 MMIC 등을 다룬다 특 히 화합물반도체는 LED 등의 발광소자의 응용에 매 적합한 물질이므로 나노 크기의 발광소자를 제조하는 공정 등을 이해하는 것은 최근의 나노크기의 소자제작과 매우 밀접하게 연관될 수 있다

Material and device characteristics of compound semiconductors are studied. It contains the topics on device modeling & simulation, digital logic circuit and MMIC.

리소그래피공정Lithography Process

반도체 공정 중 미세한 회로 패턴을 형성하는 리소그래피 공정을 전반적으로 다룬다 내용으로는 현재의 양산용 리소그래피 방법인 광리소그래피 포토마스크 제작을 위한 전자빔 리소그래피 차세대 리소그래피 장치로 떠오르고 있는 극자외선 리소그래피 등에 대 해 장치의 원리 및 공정 방법 등을 다룬다

Overall lithography technologies used in semiconductor manufacturing processes are studied. Machines basics and process steps for optical lithography, E-beam lithography and extreme UV lithography are treated.

반도체공정특강 Topics in Semiconductor Process

초고집적 칩을 구성하기 위하여 새롭게 등장하고 있는 새로운 공정 요소 및 방법 등을 다룬다 내용으로는 리소그래피의 해상력 향상 을 위한 OPC, PSM, OAI 등의 변형기술 구리배선을 위한 저온 구리 식각기술 CMP, 평탄화 기술 chip size package 기술 등을 다 루게 되며 이외에도 기술발전 상황에 따라 새로운 주제들도 다루게 된다

Recently introduced technologies in semiconductor manufacturing processes such as resolution enhancement technologies in li- thography process, copper etching under low temperature condition, CMP planarization and chip size packaging.

패터닝공정Pattern Process

미세한 회로패턴을 형성하기 위한 리소그래피 및 식각 공정을 다룬다 리소그래피는 양산용 기술인 광리소그래피를 위주로 강의하며 식각은 플라즈마 식각 공정에 초점을 둔다 각 공정장치의 기본적인 개념을 다루고 상세한 공정 방법을 설명한다

We focused on the patterning process steps of semiconductor manufacturing. Optical lithography and plasma etching is the main topics in this subject.

확산및박막공정 Diffusion and Thin Film Process

반도체 공정 중 PN 접합을 형성하기 위한 확산 및 이온주입 장치의 원리와 각 공정의 방법 등을 다루며 박막 형성을 위한 물리적 화 학적 증착 공정에서 장치의 원리 증착 방법에 대한 이해를 높인다

Diffusion process and ion implantation process for PN junction formation are studied. Also, the deposition processes of thin film such as PVD, CVD are discussed.

광소자특론 Advanced Optoelectronic Devices

화합물 반도체 과목에서 배운 내용을 토대로 화합물 반도체의 응용분야 중에 광통신등 고난도 응용분야를 공부한다

Applications of compound semiconductor device are studied.

반도체소자특론 Advanced Semiconductor Devices

HBT, HEMT와 같은 고속소자 Quantum Dot, 양자효과 트랜지스터 등 최근에 개발되거나 활용이 기대되는 새로운 반도체 소자 를 다룬다

Emerging or future semiconductor devices such as HBT, HEMT, quantum dot and quantum effect transistor.

유기소자특론Advanced Organic Devices

최근 차세대 디스플레이로 각광을 받고 있는 유기발광소자의 동작원리 및 제조방법 최근의 연구 동향 등을 공부하고 차세대를 위한 새로운 구조의 제안 등 유기발광 소자의 새로운 쓰임새 등에 대해 연구한다

Mechanism and fabrication processes of organic light emitting device are studied. Also, technical trends of OLED industry are discussed.

태양전지학 Solar Cell Technology

최근 고유가 시대에 대응하여 태양전지의 연구개발이 새로운 쟁점으로 부각되고 있는데 이러한 시점에 발 맞춰 태양전지의 원리를 공부하고 새로운 태양전지의연구 동향 및 변환 효율 증대를 위한 연구동향연구내용을공부하고 새로운 재료 및 구조로 연구되고 있는 고분자형 태양전지의 구조 및 동작 원리를 익힌다

we study the principle of solar cell. Also, technical trends of novel structure, efficiency enhancement and new material for solar cell are discussed.

디스플레이특론 Topics in Display Devices

LCD를 포함한 PDP, VFD, OLED, FED 등의 각종 평판 디스플레이의 동작원리 장단점 최신연구동향 등에 대해 배운다

Mechanism, advantages & disadvantages of overall flat panel display system such as LCD, PDP, VFD, FED and OLED are studied. Also, technical trends of each device are discussed.

영상소자 Imaging Devices

최근 발전 속도가 눈부신 영상소자의 동작 원리를 다룬다 영상소자에 사용되는 포토다이오드의 동작원리에 대해 배운 뒤 CCD 와 CIS 등 현재 가장 널리 사용되고 있는 영상소자의 구조와 동작원리 응용 등에 대해 배운다

The mechanism of imaging device are studied. It contains the topics on photodiode, charge coupled device and CMOS image sensor.

유기발광디스플레이 Organic Light Emission Display

유기발광디스플레이 물질을 이용한 발광의 원리 화학적 구조 제조방법에 고나하여 학습한다 최근 OLED는 차세대 꿈의 디스플 레이로 연구가 진행되고 있는데 이러한 연구동향과 최신개발 OLED의 장단점을 공부하여 새로운 구조를 제안하고 토론하는 시간 을 갖는다

The principle of light emission from organic material is studied. Also, the chemical structure and manufacturing process of OLED are studied. The technical trends of OLED are discussed, too.

전계방출디스플레이 Field Emission Display

전계방출 이론에 관한 기초지식 습득과 전계방출 디스플레이에 적용될 여러 음극소자들에 대한 기초지식을 익힌다

Basics of field emission theory for field emission display are studied. Several kinds of cathode device for FED are discussed, too.

플라스마디스플레이

플라즈마디스플레이의 동작원리를 공부하고플라즈마디스플레이의 구조와다른 디스플레이와의 차이점장단점을공부하고최근 의 고화질을 위한 성능 개선 방법 연구개발 동향 등을 다룬다

Mechanism of plasma display are studied. Also, the technical trends are discussed.

박막트랜지스터TFT-LCD

현재 TFT-LCD 기술은 대형 벽걸이 TV의 응용 등으로 최고의 응용 현황을 맞이하고 있으며 차세대 디스플레이라고 일컬어지는 OLED의 back-plane으로 사용되거나 박막형 태양전지를 제작하는 등의 새로운 응용범위를 넓혀 가고 있다 이러한 박막 형태의 TFT-LCD 기술의 새로운 응용 내용을 익히고 공부한다

Main topic of this subject is applications of TFT-LCD.

광학계측공학 Optical Measurement Engineering

빛과 레이저를 이용한 계측에 대하여 공부한다 빛의 세기 스펙트럼 위상차 등을 측정하는 방법들의 종류와 원리를 공부하고 이를 기초로 여러 가지 물성의 측정 비파괴 검사 등에 응용되는 광계측기의 종류와 원리를 다룬다

Metrologies by optical methode are studied. Measurement of the light intensity, spectrum and phase difference are discussed. Also, basics for optical machines for metrology are studied.

물리광학특론 Advanced Optics

빛의 파동성에 입각하여 기하광학에서 다루지 않았던 광학현상을 다룬다 대표적인 현상으로 간섭과 회절이 설명된다 빛의 파동성에 서 나타나는 가간섭성과 편광을 다루며 금속과 결정에서 발생하는 반사 굴절 흡수 및 회절 또는 복굴절과 같은 광학현상을 취급한다

Wave characteristics of light such as interference and diffraction are studied. Coherence, polarization, reflection, refraction, absorp- tion, diffraction and birefringence are discussed, too.

조명공학 Illumination Engineering

빛을 이용한 조명에 관하여 공부한다 광원의 종류와 그 광학적 특성 특히 조도와 휘도 색 등 시감과 관련된 특성을 다룬다 또한 LCD의 배경조명 반도체 리소그래피 공정의 조명 등과 같은 응용장치의 구성과 원리 특성 등에 관하여 학습한다

This subject is consist of the topics on light sources, optical characteristics related to human-eye such as intensity, brightness and color. Also, several illumination systems used in display and semiconductor industries are studied.

푸리에광학

빛의 회절이론을 이해하고Fraunhofer 회절을푸리에변환으로기술할수 있음을파악한다 푸리에변환을 이용하여렌즈를포함한 광학계를 공간주파수 공간에서 기술하고 광전달함수 등의 특성을 분석한다

This subject is consist of the topics on diffraction of light, Fourier transform, optical transfer function of lens system by Fourier transform methode.

집적회로프로세스 Integrated Circuit Manufacturing

집적회로 제조에 필수적인 박막형성기술 및 산화 확산 이온주입 금속 전극 형성 리소그래피 및 식각 기술과 같은 단위공정에 대한 이론적 배경과 더불어 이들을 집적화한 VLSI 공정 설계 기법을 다룬다

Process design of integrated circuit fabrication is studied. It contains the topics on thin film deposition, oxidation, ion implantation, metal formation, lithography and etching processes.